一、 鋼件制造要求
1.1. 鋼件設(shè)計制造標(biāo)準(zhǔn)

 

 

1.3. 防腐生產(chǎn)施工標(biāo)準(zhǔn)

1.4. 半導(dǎo)體高純內(nèi)襯工藝對鋼件的要求

二、 防腐材料選型
2.1 PTFE防腐材料性能說明
中文名：聚四氟乙烯； 英文名: PTFE； 俗稱：F4、四氟、聚四氟乙烯；所選用PTFE內(nèi)襯材料反面采用專業(yè)的荼鈉處理或玻纖復(fù)合技術(shù)，保證了板材和膠水粘合度更強(qiáng)；PTFE板材是一種高純、防腐、自潔凈材料，對于小分子滲透和強(qiáng)酸強(qiáng)堿擁有更佳的耐受性和穩(wěn)定性；擁有更高的純度，在使用過程中雜質(zhì)和金屬粒子析出幾少量；因采用特殊工藝成型，板材表面無任何刮傷和加工痕跡，所以在使用中不會有任務(wù)微生物可以附著在其表面。在電子化學(xué)品和半導(dǎo)體行業(yè)已成功應(yīng)用多年。 
2.2  PFA防腐材料性能說明
長期使用-190℃至260℃，四氟乙烯-全氟烷乙烯基醚共聚物，英文名:polyfluoroalkoxy,比重：2.13-2.167克/立方米，成型收縮率：3,。1-7.7%，成型溫度：350-400℃干燥條件。PFA有卓越耐化學(xué)侵蝕性，對一切化學(xué)品都耐侵蝕，摩擦系數(shù)的塑料中最低，還有很好的電機(jī)能，其電絕緣性不受溫度影響，有“可溶性塑料王”之稱。
PFA塑料有著很強(qiáng)的耐化學(xué)藥品性，其耐化學(xué)藥品性與聚四氟乙烯類似。
PFA塑料有很強(qiáng)的耐侵蝕性，適于制作耐侵蝕件，減磨耐磨件、密封件、絕緣件和醫(yī)療器械零件。
其抗蠕變性他壓縮強(qiáng)均比聚四氟乙烯好，拉伸強(qiáng)度高，伸長率100%-300%,介電性好，耐輻射性能優(yōu)異，阻燃性能非常好。
無毒害：具有生理惰性，可以植入人體內(nèi)。
為保證工藝的可靠性，選型必須滿足其化學(xué)成份、機(jī)械性能、物理性能、供貨狀態(tài)以及表面質(zhì)量應(yīng)符合GB/T 26501-2011《氟塑料襯里壓力容器通用技術(shù)條件》規(guī)定的有關(guān)要求。
2.3 ECTFE防腐材料性能說明
ECTFE板:是乙烯和三氟氯乙烯1:1的交替共聚物,熔點為464F,密度為1.68g/cc(克/立方厘米)。 
特性:從低溫到 330T的性能良好,其強(qiáng)度、耐磨性、抗蠕變性大大高于PTEE、FEP和PFA。它在室溫和高溫下耐大多數(shù)腐蝕性化學(xué)品和有機(jī)溶劑。它的介電常數(shù)(2.6)低,在很寬的溫度和頻率范圍內(nèi)性能穩(wěn)定。ECTFE不著火,可防止火焰擴(kuò)散,當(dāng)暴露在火焰中時,將分解成硬質(zhì)的碳。
應(yīng)用領(lǐng)域:可制成用于模塑和擠塑的粒料及用于旋轉(zhuǎn)模塑、流化床涂飾、靜電涂飾的粉狀產(chǎn)品?？稍趥鹘y(tǒng)擠塑設(shè)備用化學(xué)發(fā)泡法加工成泡沫狀產(chǎn)品,待別適用于計算機(jī)用電線的領(lǐng)域。半成品有膜、板、管和單纖維;注塑產(chǎn)品有塔填料、問和泵零件、接插件、電線接線柱、過濾機(jī)殼。ECTFE管的應(yīng)用有光導(dǎo)纖維的套管、非支撐管、鋼管和增強(qiáng)塑料管的內(nèi)襯。 
2.4 半導(dǎo)體高純設(shè)備防腐選型推薦表

三、 半導(dǎo)體高純內(nèi)襯工藝流程
3.1 內(nèi)襯工藝流程簡圖

3.2 工藝詳細(xì)說明
3.2.1鐵件噴砂處理
罐箱制作完成后，針對需要襯里部位進(jìn)行噴砂處理，增加其表面粗糙度，可以提高四氟板材與罐箱內(nèi)壁的貼合強(qiáng)度。
3.2.2.貼合
貼合四氟板前先予罐箱內(nèi)進(jìn)行布線處理，配合罐箱制作時預(yù)留的排氣孔進(jìn)行抽氣，可有效增加四氟板材與罐箱內(nèi)壁的貼合度（圖1、圖2）。
 

 
3.2.3.PFA圓焊條熔接
貼板完成后，將兩片板片重疊處進(jìn)行修邊處理，之后將修邊完成的接縫進(jìn)行開V型槽，增加兩片四氟板片的熔接面積，最后用PFA圓焊條進(jìn)行熔接，并將PFA圓焊條溢出四氟板材的部分鏟平。對熔接部位實施20KV電火花檢測和目視檢查，確認(rèn)熔接部位無針孔缺陷和無黑點、氣泡、假性焊接等缺陷。如圖3，圖4
 

3.2.4.PFA扁焊條熔接
PFA扁焊條熔接完成后，采用等溫、等速、等壓操作的自動熔接機(jī)進(jìn)行PFA扁焊條熔接。此法一是可以增加兩片四氟板材的接合強(qiáng)度，二是PFA扁焊條外觀平整、光滑、不易沾附臟污，更符合半導(dǎo)體、超純水、高純度藥品等潔凈度的要求（圖5、圖6）。
 

3.2.5.支管熔接
對于罐箱底部的管口，支管自內(nèi)往外插入，利用擴(kuò)口翻遍工藝進(jìn)行制作。此法通過增加溶解面積增加熔接強(qiáng)度，及減少罐箱使用時積液、積污等問題，有效的延長設(shè)備的使用及操作的合理性（圖8）。常規(guī)焊接為角焊焊接工藝，采用圓焊條繞焊6圈（圖7）。

 

3.2.6.針孔檢查
襯里作業(yè)完成后，全面性的對罐箱施以20KV的電火花檢測，確保完成的襯里罐箱在焊縫、板面皆無針孔缺陷。
3.2.7.蒸汽洗凈
為滿足客戶化學(xué)品潔凈度需求，賣方配有十萬級潔凈車間（圖9），并設(shè)立一間萬級潔凈室，供里襯熔接和清潔之需求，并結(jié)合相應(yīng)的配套設(shè)施，如：超純水系統(tǒng)、蒸汽發(fā)生器等，確保出廠的罐箱潔凈度符合客戶使用需求。
(1) 罐箱通入超純水蒸汽清洗30min，去除板面施工殘留的大部分油脂。
(2) 用高壓超純水沖洗罐箱內(nèi)表面，去除罐箱表面殘留的灰塵，然后用無塵布擦拭至干燥。
(3) 罐箱移入潔凈廠房內(nèi)，作業(yè)人員用專用清潔劑整體擦拭板面，去除殘余的油脂，然后用無塵布擦拭至干燥（圖10）。
(4) 用超純水整體擦拭板面至干燥。
(5) 用超高純IPA整體擦拭板面至干燥。
(6) 用超純水整體擦拭板面至干燥。
(7) 洗凈作業(yè)完成后，用紫光燈全面檢查罐箱板面，無熒光反射殘留異物后即判定洗凈作業(yè)完成，并用洗凈的襯氟盲板密封。

四、 檢驗檢測
4.1.鋼件與防腐檢驗項目一覽表

 

4.2.鋼件廠家檢驗工序與方法
 

4.3.鋼件入庫檢驗
為保證鋼罐體制作符合內(nèi)襯需求，對每個罐箱鐵件至少進(jìn)行兩次鐵件檢查，分為鋼罐體廠家檢查和罐箱進(jìn)廠檢查，并對檢查結(jié)果進(jìn)行記錄，并拍照留檔。
配套鐵件廠商均為專業(yè)的內(nèi)襯罐體制作廠商，具有多年內(nèi)襯鋼罐體鐵件的制作經(jīng)驗。
4.3.1罐箱進(jìn)廠檢查
(1) 外觀檢查
各部位不可有突出、傷痕、毛邊、凹凸、焊接熔渣、敲打痕跡等缺失。
(2) 焊縫外觀檢查
a. 熔接部要充分熔入，且無裂縫、凹割、搭迭、焊口燒痕、熔渣等缺點。
b. 焊道形狀要平整，不可顯著高低不平、塌陷等缺點。
c. 加強(qiáng)焊縫要光滑的隆起來。
d. 熔接各部位不可有厚度不足的缺點。
e. 桶體與桶體&桶體與封頭焊接后之內(nèi)部焊道須平滑磨除。
f. 厚度不同之鋼板焊接時，桶體內(nèi)部不可有段差。
(3) 襯里加工面噴砂處理
a. 噴砂后的表面粗糙度為 25~100µm。
b. 所有里襯加工面位置不得有噴砂遺漏的情形。
c. 噴砂后不得有生銹、油污、漆、水垢等附著在 TANK 內(nèi)部，噴砂后之砂粒必須清理干凈。
(4) 尺寸檢查
參照圖紙，使用檢驗量器具對罐箱各部位尺寸進(jìn)行測量檢查，要求符合圖紙公差及企業(yè)內(nèi)部檢驗標(biāo)準(zhǔn)。
(5) 入庫必須附產(chǎn)品質(zhì)量證明書及金屬材質(zhì)證明。
 
4.4.里襯板材入庫檢驗
(1) 外觀檢查
板材表面不應(yīng)有裂紋、氣泡，折疊、夾雜，結(jié)疤、黑點、白斑。
(2) 尺寸檢查
使用檢驗量器具對板材尺寸進(jìn)行測量檢查。
(3) 資料檢查
板材入庫必須附產(chǎn)品產(chǎn)品質(zhì)量證明書，要求型號、名稱、數(shù)量、生產(chǎn)日期或批號、交貨狀態(tài)等應(yīng)與質(zhì)量證明書一致。
            
4.5.配件入庫檢查
配件包括里襯管閥件、PFA管等配件。
(1) 外觀檢查
里襯配件表面不應(yīng)有裂紋、黑點、傷痕等缺陷。
(2) 尺寸檢查
使用檢驗量器具對板材尺寸進(jìn)行測量檢查。
(3) 電火花檢查
使用電火花測試儀對里襯配件進(jìn)行針孔檢查。
(4) 資料檢查
板材入庫必須附產(chǎn)品產(chǎn)品質(zhì)量證明書，要求型號、名稱、數(shù)量、生產(chǎn)日期或批號，交貨狀態(tài)等應(yīng)與質(zhì)量證明書一致。
 
4.6.主要內(nèi)襯檢驗工序與方法
(1)焊縫外觀檢查
采用手電對板面焊縫進(jìn)行目視檢查，PFA圓焊條和PFA圓焊條焊縫均不得有氣泡、黑點、亮線、假性焊接等缺陷。

(2)焊縫針孔檢查
采用AC20KV電壓針孔測試儀和電火花檢測儀進(jìn)行針孔檢查，PFA圓焊條和PFA圓焊條焊縫均不得有針孔。

(3)水壓試驗和絕緣電阻測試
采用設(shè)計壓力1.25倍（除圖紙另有要求）水壓對襯里鋼罐體進(jìn)行耐壓性及絕緣性測試。測試要求壓力持續(xù)4h沒有壓降后進(jìn)行絕緣電阻檢測≥1000MΩ。

(4)貼合度檢查
貼合度檢查采用四氟錘對里襯面進(jìn)行敲擊，板面不得有空鼓現(xiàn)象。

襯里鋼罐體裝配好后應(yīng)進(jìn)行氣密性測試，氣密性試驗所用氣體，應(yīng)為干燥、清潔的氮氣，試驗壓力應(yīng)為設(shè)計壓力的1.1倍（除圖紙另有要求），對鋼罐體的所有焊縫和連接部位涂刷檢漏液進(jìn)行泄露檢查，以無泄漏為合格。
液位計及管閥件（如有）裝配好后進(jìn)行氣密測試（如圖樣要求），測試要求同鋼罐體檢測要求。
 

4.7.主要檢驗設(shè)備