序號	目錄表
1	防腐材料選型
2	鋼件制造要求
3	半導體高純噴涂工藝流程
4	檢驗檢測
5	噴涂檢驗檢測和生產實物照片

一、 防腐材料選型
1.1. 高純PFA噴涂層基本介紹
目前江蘇馳耐特防腐科技公司有兩種高純噴涂級PFA，一種為靜電粉末噴涂型，另一種為液體噴涂型。常規的靜電噴涂粉末PFA和液體PFA均有很多填充材料和色母。高純PFA與常規PFA對比不論是無任何色母和填充材料，高純PFA是在潔凈環境中采用特殊工藝制作而成。
高純PFA涂層厚度正常在0.3mm至1mm，能夠長時間耐受高純有機溶劑及高純強酸強堿腐蝕。如果使用溫度特別高又有真空，采用加網噴涂工藝，噴涂厚度最厚可達2mm至2.3mm，能承受240℃以上的高溫和極限真空，對冷熱交替工況穩定性好。高純PFA涂層不但純度優于常規PFA，而且耐氫氟酸、鹽酸、水蒸氣等小分子致密性比常規PFA要好幾倍。
公司配備有10萬級、萬級、千級三種潔凈車間，根據不同要求對設備進行噴涂，能夠滿足對G1至G5的純凈度要求，最高純凈度可達半導體級10個PPT。
可適用于液晶、光刻膠、聚酰亞胺（PI）、電子濕化學品及各類異形件，包括攪拌、反應釜、干燥設備、壓力容器、儲罐、閥體、泵體、離心機、排風管、熱交換器、清洗設備、CMP拋光設備、高純過濾器、氣體排放系統、過濾器、混料設備等。
 

SEMI國際標準—濕電子化學品品質分級
SEMI	C1(Grade1)	C7(Grade2)	C8(Grade3)	C12(Grade4)	Grade5
金屬雜質/ug/L	≤1000	≤10	≤1	≤0.1	≤0.01
	(1ppm)	(10ppb)	(1ppb)	(0.1ppb)	(0.01ppb)
控制顆粒/ul	≤1.0	≤0.5	≤0.5	≤0.2	*
顆粒個數(個 /mL)	≤25	≤25	≤5	供需雙方協定	*
適應IC線寬+ 范圍/um	>1.2	0.8~1.2	0.2~0.6	0.09~0.2	<0.09
推薦使用四氟涂料品牌	美國杜邦/ 日本大金(PFA)	美國杜邦/ 日本大金(PFA)	美國杜邦/ 日本大金(PFA)/高純PFA	高純PFA	高純PFA
其余防腐選型，建議客戶來電或到訪咨詢

二、 鋼件制造要求
2.1. 鋼件設計制造標準

序號	標準號	標準名稱
1	GB 150.1~4-2011	《壓力容器》
2	NB/T 47013-2015	《承壓設備無損檢測》
3	GB/T 713－2014	《鍋爐和壓力容器用鋼板》
4	GB/T 24511-2017	《承壓設備用不銹鋼板和鋼帶》
5	NB/T 10558-2021	《壓力容器涂敷與運輸包裝》
6	TSG 21-2016	《固定式壓力容器安全技術監察規程》
7	NB/T 47010-2017	《承壓設備用不銹鋼鍛件和耐熱鋼鍛件》
8	GB/T 3274-2017	《碳素結構鋼和低合金結構鋼熱軋厚鋼板和鋼帶》
9	GB/T 8923.1-2011	《涂裝前鋼材表面銹蝕等級和除銹等級》
10	HG/T 20580～20585-2020	《鋼制化工容器設計基礎規范等六項匯編 [合訂本]》
11	NB/T 47014-2011	《承壓設備焊接工藝評定》
12	NB/T 47041-2014	《塔式容器》
13	NB/T 47065.1~.5-2018	《容器支座》
14	GB/T 25198-2010	《壓力容器封頭》
15	NB/T 47020～47027-2012	《壓力容器法蘭、墊片、緊固件》
16	HG/T 20592~20635-2009	《鋼制管法蘭、墊片、緊固件》
17	NB/T 47003.1-2009	《鋼制焊接常壓容器》
18	GB/T 8163-2018	《輸送流體用無縫鋼管》
20	NB/T 47015-2011	《壓力容器焊接規程》
21	NB/T 47016-2011	《承壓設備產品焊接試件的力學性能檢驗》
22	HG/T 20677-2013	《橡膠襯里化工設備》
23	GB 713-2014	《鍋爐和壓力容器用鋼板》
24	NB/T 47008~47010-2017	承壓設備用碳素鋼和合金鋼鍛件  低溫承壓設備用合金鋼鍛件  承壓設備用不銹鋼和耐熱鋼鍛件》
25	GB/T 9948-2013	《石油裂化用無縫鋼管》
26	SH/T 3540-2018	《鋼制冷換設備管束防腐涂層及涂裝技術規范》
27	GB 50341-2014	《立式圓筒形鋼制焊接油罐設計規范》
28	GB 50128-2014	《立式圓筒形鋼制焊接儲罐施工及驗收規范》

2.2. 鋼件制作試驗和檢驗項目

序號	項目
1	材料質量合格證明書
2	原材料復檢
3	焊接工藝評定
4	焊接接頭坡口準備
5	焊接接頭外觀及最終檢驗
6	無損檢測(按圖紙要求)
7	水壓試驗
8	除銹& 油漆檢驗(包括表面預處理)
9	運輸前檢查

2.3. 防腐生產施工標準

序號	標準編號	標準名稱
1	HG 20536-1993	《聚四氟乙烯襯里設備》
2	HG/T4277-2011	《鋼制塑料襯里塔式容器技術條件》
3	GB/T 26501-2011	《氟塑料襯里壓力容器通用技術條件》
4	HG/T 4088-2009	《塑料襯里設備 通用技術要求》
5	HG/T 4093-2022	《塑料襯里設備 襯里耐負壓試驗方法》
6	GB/T 23711.1-2019	《氟塑料襯里壓力容器 電火花試驗方法》
7	GB/T 23711.2-2019	《氟塑料襯里壓力容器 耐低溫試驗方法》
8	GB/T 23711.3-2019	《氟塑料襯里壓力容器 耐高溫試驗方法》
9	GB/T 23711.4-2019	《氟塑料襯里壓力容器 耐真空試驗方法》
10	GB/T 23711.5-2019	《氟塑料襯里壓力容器 熱脹冷縮試驗方法》
11	GB/T 23711.6-2019	《氟塑料襯里壓力容器 壓力試驗方法》
12	HG/T 20678-2000	《襯里鋼殼設計技術規定》
13	HGJ 229-1991	《工業設備、管道防腐蝕工程施工及驗收規范》
14	HG/T 4112-2009	《塑料襯里儲槽和罐式容器技術條件》
15	GB 25025-2010	《襯里設備技術條件》
16	HG/T 20678-2000	《襯里鋼殼設計技術規定》

三、 半導體高純噴涂工藝流程
3.1 半導體高純噴涂工藝流程簡圖  
3.2  半導體高純噴涂工藝流程詳細說明

序號	噴涂作業流程	PFA噴涂詳細敘述及要點說明
1	基材檢查	1.1.檢查素材是否有尖銳角、假焊、氣孔、咬邊、缺料
2	打磨前處理	2.1.打磨：把工件表面的毛刺、焊碴、尖角、銳角等用角磨機仔細打磨； 2.2.R角圓弧度未達到要求的，需手工打磨到R角圓弧度要求； 2.3.打磨過程中發現素材焊接制造有缺陷問題，需及時向生管部主管反應，確保噴涂的質量。
3	高溫除油	3.1.空燒設定430℃高溫除油，按工件大小、輕重設定保溫時間，徹底燒去素材殘余油質。（主要把法蘭二次車加工油脂高溫徹底和焊接處應力去除）
4	噴砂粗糙處理	4.1.噴砂一定要選用硅砂，嚴禁使用鐵砂，因為鐵砂會污染不銹鋼基材； 4.2.噴砂設定8公斤氣壓，100 目硅砂先噴一遍，再用 25 目粗砂噴第二遍，噴砂的壓力不低于 0.6kg/㎡
5	基材表面清潔	5.1.用空氣槍不低于6kg壓力，吹凈噴砂表面余塵； 5.2.再用吸塵器整體全面吸干凈殘余灰塵； 5.3.再用無塵布全面擦拭干凈； 5.4.向烘箱內架放工件；
6	基材預熱	6.1.噴涂前設備進入烘箱內，設定50℃溫度預熱干燥處理，徹底去除基材殘留濕氣。
7	噴涂底漆準備	7.1.把所用噴涂底漆料提前半小時充分攪拌，然后倒進噴涂專用噴槍內； 7.2.檢查噴涂工具是否有異常，如有異常問題要及時解決，保證噴涂順暢； 7.3.帶好防護口罩、皮手套、眼鏡和潔凈服。
8	底漆噴涂	8.1.所用料為高純美國PFA專用底漆; 8.2.烘烤設定溫度150℃*40分鐘。
9	中涂前空氣純度檢測	9.1.中涂前空氣純度檢測確認達標
10	中涂前準備	10.1.調試好壓力桶各項功能是否正常； 10.2.提前1個小時對PFA料進行攪拌，保證無沉淀； 10.3.檢查噴槍的溫度、粉量、氣壓、油量大小等等。
11	中涂	11.1.所用料為美國高純PFA中漆液體； 11.2.噴涂工藝為液體常溫噴涂； 11.3.中涂一共需要8次， 11.5.反復噴涂約8次、反復燒結約8次；
12	中涂檢測	12.1.用膜厚儀測量膜厚是否達到0.6mm的預期； 12.2.如個別位置未達到0.6mm防腐層，做好位置標記； 12.3.采用低頻直流電火花檢測儀設定8000V電壓垂直沿防腐層面低于50mm/s的速度進行100%的探傷，把有針孔漏點和氣泡、流掛的位置修補起來； 12.4.未達到0.6mm做好標記以及針孔漏點修補完成，然后進烘箱重新噴涂把達到預期質量和厚度標準。
13	上 涂	13.1.所用料為美國高純PFA中漆液體； 13.2.噴涂工藝為液體常溫噴涂； 13.3.中涂一共需要2次； 13.4.反復噴涂約2次、反復燒結約2次。

一、 檢驗檢測
4.1.  設備檢驗和試驗
4.1.1. 在設備制造過程中及出廠前，供方應依據經甲方批準的詳細設計圖紙和有關標準對設備進行檢驗。主要包括以下內容：
①　尺寸檢查
②　原材料和外購件檢驗
③　無損檢測
④　耐壓試驗
⑤　泄漏試驗（如果有）
⑥　表面處理
⑦　部件材質檢驗
甲方將對上述結果進行抽查。
4.1.2. 產品出廠前，甲方及項目相關方進行出廠前檢驗。甲方檢驗及簽字并不免除或減輕供方對產品的責任。
4.1.3. 試驗和檢驗項目

序號	項目
1	材料質量合格證明書
2	原材料復檢
3	焊接工藝評定
4	焊接接頭坡口準備
5	焊接接頭外觀及最終檢驗
6	無損檢測(按圖紙要求)
7	水壓試驗
8	除銹& 油漆檢驗(包括表面預處理)
9	運輸前檢查

4.2. 噴涂檢驗工序項目一覽表

序號	項目名稱
1	素材檢查
2	原材料檢驗（品牌名稱、批次號、目測外觀）
3	鋼件高溫除油除雜質
4	鋼件噴砂粗糙化處理
5	噴涂前基材預熱烘烤溫度
6	噴涂底漆烘烤溫度
7	噴涂面漆烘烤溫度
8	電火花檢測
11	襯層外觀檢測
12	膜厚檢測
13	附著力檢測
14	外表面刷防銹漆
15	外包裝（法蘭面保護全部用金屬盲板且有涂防銹漆）
16	設備防腐出廠資料報告

序號	檢測項目	檢驗范圍	檢驗標準	參考數據	甲方拒收標準
1	噴涂層膜厚檢測	70%表面積	企業標準	1~1.2	最薄部位＜1mm
2	噴涂外觀目測	全  檢	企業標準	100%合格	氣泡 流掛
3	附著力檢測	法蘭側邊5%	企業標準	試板切開10mm*60mm	涂層起皮
4	電火花檢測	全  檢	GB/T 26501-2011	100%合格	8000伏有針孔漏點出現
5	電阻檢測（如要求）	全  檢	企業標準	500兆歐	500兆歐以上

4.4.  噴涂重點檢驗點實物照片
4.4.1 噴涂層膜厚檢 4.4.2 附著力檢測
4.4.3 電火花檢測
4.2. 噴涂檢測設備

序號	檢測設備名稱	用途	實物照片
1	膜厚儀	測試涂層厚度
2	電火花檢測儀	測試涂層是否有漏點
3	附著力檢測儀	檢測涂層附著力

五、 噴涂檢驗檢測和生產實物照片